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排放行中的半导体工厂

更新:2019-08-08 编辑:大顺彩票登录 来源:TVB天使娱乐网 热度:359℃

排放行中的半导体工厂作者:AlexMayhew-Smith欧盟委员会(EC)希望对半导体工厂的全氟化碳排放进行独立监测。为响应欧洲电子元件制造商协会削减全氟化碳产量的自愿协议,欧盟委员会表示,它希望引入更高的目标,以减少温室气体的排放,并对产出水平进行更彻底,独立的监测。在半导体制造期间,有害气体用于等离子体蚀刻和清洁化学气相沉积室。据估计,目前这些工艺中使用的气体约有60%被释放到大气中。

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